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令和4年度

「半導体デバイス工学」:学生が九州工業大学マイクロ化総合技術センターで半導体製造実習に参加しました

令和4年9月1日(木)~9月2日(金)の2日に渡って、本科4年生が新設科目「半導体デバイス工学」の実習として九州工業大学マイクロ化総合技術センターを訪れ、半導体製造プロセスの一部を体験してきました。

実際にセンターを訪れたのは上記科目の履修学生のうち代表7名で、他の履修学生は自宅、もしくは佐世保高専大講義室でリモートにて製造プロセスの様子を観察しました。
実際に訪れた学生は慣れないクリーンルームに専用のクリーンスーツを着て入り、実際の半導体製造プロセス、またそれに利用される装置を目の当たりにして驚いていました。
リモート中継も作業者の手元を非常によく映し、できる限りの臨場感を演出しました。

今回の実習を通して、学生は半導体製造にどのような工程があり、どれだけの技術を費やして日常で使われる半導体が作られているかを実感できました。

 

フォトリソグラフィーのための薬液塗布を体験する様子 フォトリソグラフィー後のパターンを顕微鏡で観察する様子
試料観察をしながら説明を受ける様子 出来上がった試料を持って集合写真