令和５年７月２５日（火）、今年度「半導体工学概論」を受講している本校本科４年生のうち２６名が、佐賀県鳥栖市の国立研究開発法人 産業技術総合研究所 九州センター様へ研究室見学に行きました。
同社への研究室見学は、昨年度に続き２度目となります。
まず、センターの概要やミニマルファブ研究の説明を受け、つぎに研究室では、ミニマルファブの装置や低温成膜が可能な最先端のスパッタリング成膜装置、重金属を検知するセンサーの研究について、見学させていただきました。
最先端の研究に取り組まれている研究者の方々より説明していただくことで、半導体業界が抱える問題やそれを解決するための研究開発について理解がより深まり、良い経験となりました。
今回、本校の研究室見学にご快諾いただきご丁寧に対応くださいました、国立研究開発法人 産業技術総合研究所 九州センター様、誠にありがとうございました。この場をお借りし厚く御礼申し上げます。
以下、本工場見学に参加した学生の感想（抜粋）
・ミニマルファブで小型の半導体製品を実際に作ってみたいと思った。
・常温に近いプラズマを使った金属膜で生物の表面を写しとることが出来るというものが面白かった。
・ミニマルファブがあることによって、大型のクリーンルームのようなものを設置する必要がないことが印象に残った。
・研究の手順や取り組む上で大切なことをもっと知りたいと思った。
・プラズマを用いて膜をものに貼り付けて観察するというのが１番興味深かった。
・スパッタリング成膜を5Wという省電力でできることが印象に残った。また、電磁石の置き方をどのように変えたらそうできるのか気になった。
・大工場で半導体を作る工程をパッケージングまで小さなミニマルファブで作ることができると知ってとても驚いた。特に研究などには向いていると感じた。
・スパッタリング成膜で昆虫や動物などの機能性表面の形状を再現できることがすごいと思った。
・電気化学の実験で液体の金の色がだんだん変わっていっていたことの仕組みをもっと詳しく知りたい。
・大規模な生産工場では1つの回路を試験的に作る点では向いていないという欠点に対して、ミニマルファブでは１つの小さいウエハに回路を作成することに特化することで解決していることが興味深かった。
